Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро-и наноэлектроника: физика, технология

Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро-и наноэлектроника: физика, технология,
Издательство: Наука
Год издания: 2018
ISBN: 978-5-02-040089-4
739 руб купить


 

Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

 
Радиоэлектроника. Связь:
 

Другие книги автора

 

Другие книги издательства

 

Другие книги серии

Путь, Путь
Изд: Corpus
568 руб купить